项目俯瞰。

湖北日报讯（记者马文俊、通讯员李孟、邓祖林、柯丝语）当人工智能、新能源汽车、新一代通信技术浪潮奔涌，化合物半导体成为新质生产力赛道必争之地。日前，走进由中冶南方工程技术有限公司承建的化合物半导体孵化加速及制造基地，一片施工繁忙景象。项目位于武汉光谷，九龙湖街以南、五峰路以西，总建筑面积16.8万平方米，14栋银灰色厂房纵向排开，包含4栋洁净生产厂房、4栋孵化加速办公厂房，以及综合服务楼、动力站、氢气站、甲乙类库房等，预计今年10月交付。

一线“产房”比医院ICU还干净。一粒微尘，可能让整片晶圆报废。项目技术负责人苏伟介绍，百级洁净代表每立方英尺空气中0.5微米以上颗粒不超过100颗，千级不超过1000颗。医院ICU大多为万级，这里洁净度远超重症监护室。洁净厂房内温湿度恒定，脚下是高架地板，纯水、冷却水、工艺气体管线密布。空气经FFU高效过滤器自上而下漫过生产区，穿地板孔洞进入夹层，再回风循环。芯片行业迭代快，十到十五个月就要更新一轮产品，早投产一天，企业就少一分损失。项目采用EPC总承包模式，纯水制备、废水处置、特种气体输送、配电制冷等系统同步落地。

洁净厂房内部。

动力站是整个园区的“心脏”。在项目负责人刘华伟的带领下走进三层建筑，一楼废水处理站，含氟、含磷等废水经沉淀槽和在线监测处理达标排放，二楼冰机、水泵，是冷热源调度中心，三楼配电房电气柜列阵，把电、水、气、冷源统筹起来。“芯片‘喝’的水比人喝的挑剔得多。超纯水经活性炭过滤、RO反渗透等多重净化，用于冲洗、研磨等工艺。刘华伟说，饮用水含电解质和矿物质，纯水长期饮用反而带走人体电解质，但芯片制造中这种极致纯净是刚需。”刘华伟说，省内把洁净厂房、水、电、气、三废处理全部配齐的产业载体格外稀缺，单是厂房造价每平方米就超一万元。

一站式“拎包入驻”，科研团队带方案即可量产。化合物半导体行业，不少手握前沿方案的团队常被建厂投入大、普通楼宇不达标绊住脚步。基地给出良方，厂房不是毛坯交付，而是全套精装。4栋孵化加速办公厂房用于办公实验，4栋生产厂房每层预设洁净区，既可拆分给中小团队，也能为大客户整栋定制。企业无需自建洁净室、买气体柜、铺超纯水管路，只需按晶圆制造、器件分装、设备研发等方向做少量适配，就能快速投产，把资金更多投入技术研发。目前，已有一栋厂房完成定制设计与施工，项目未完全建成，已引来行业顶尖企业洽谈。

配套净化装置。

相比传统硅基半导体，化合物半导体器件耐高温、可高频工作，是6G通信、新能源汽车、光模块、航空航天等领域核心功率与射频器件关键材料。芯片产业比拼，说到底是创新生态比拼。光谷这座基地，不是简单“筑巢引凤”，而是把巢建成能“孕育凤凰”的精密系统。拎包入住的“包”里，装着一整套让创意流片、让样品量产的基础设施能力。未来，这里将持续集聚产业资源、完善产业生态，助力湖北加快打造全国领先的化合物半导体产业高地。